DLC類金剛石涂層是一種功能良好的耐磨涂層，由于在不同環(huán)境下的自潤滑性、耐腐蝕、耐磨損以及高化學(xué)慵懶等優(yōu)異功能，DLC涂層作為一種具有潛力的固體潤滑資料，在微型機電體系、切削工具、機械密封、生物醫(yī)學(xué)等范疇有著普遍的使用前景。DLC涂層的制備辦法主要是物相堆積法（PVD）和化學(xué)氣相堆積法（CVD），不同的制備辦法關(guān)于DLC涂層的系數(shù)影響也有所不同，制備工藝的參數(shù)要素關(guān)于DLC涂層系數(shù)也有較大影響。DLC涂層加工

一、反響氣源

反響氣源的組成對DLC涂層結(jié)構(gòu)影響很大，特別是對DLC涂層的氫氣結(jié)構(gòu)有重要影響。

首先，原子氫對石墨以及其他非金剛石相碳具有擇優(yōu)刻蝕的效果。堆積金剛石薄膜過程中，在沒有超平衡氫原子參與時，甲烷分解為石墨和金剛石鍵價結(jié)構(gòu)的速率是處于同一個數(shù)量級的?？墒钱?dāng)甲烷和氫氣的混合氣體中引入超平衡原子氫后，甲烷的熱分解效果和原子氫的刻蝕效果加在一起，就出現(xiàn)了金剛石的成長速率為正，石墨的成長速率為負(fù)的情況，即原子氫刻蝕石墨的速度遠(yuǎn)高于刻蝕金剛石的速度。因而，當(dāng)反響氣源中引入原子氫有利于添加DLC膜中sp3相含量，安穩(wěn)隨機共價鍵網(wǎng)絡(luò)，阻止其轉(zhuǎn)化為石墨相。

其次，反響氣源中氫氣比例越高，DLC膜中含氫量越高，越有利于完成較低系數(shù)。經(jīng)過改變DLC膜中的氫含量，因數(shù)可改變幾個數(shù)量級。

二、摻雜元素

經(jīng)過摻雜金屬或非金屬元素，可制備出具有優(yōu)異強韌化和膜基結(jié)合力、低特性以及低環(huán)境敏感性集一體的DLC涂層。元素?fù)诫s可以改進DLC膜的學(xué)功能，但要關(guān)注元素?fù)诫s量。一般來說，元素?fù)诫s都會有一個適合摻雜量規(guī)模。例如，摻雜少量N元素可明顯下降各種濕度環(huán)境下DLC涂層的與磨損，但摻雜很多N元素會使得C含量大幅度下降以及薄膜中碳鏈或團簇被更多的N原子中斷，減小無定形碳對碳膜學(xué)功能的貢獻，功能變差。

三、基體資料

采用PECVD技術(shù)在聚碳酸酯(PC)樹脂片上堆積的DLC涂層因數(shù)會下降70%左右，耐磨性有極大的提高；在玻璃上制備的DLC膜磨損功能較差，可能是因為在界面處不能形成過渡反響層。

基體資料的外表粗糙度對DLC膜的學(xué)功能也有很大影響。作為一種無定型結(jié)構(gòu)，DLC涂層成長時十分接近基體的外表輪廓或者粗糙度。如果是在相似高度拋光的藍(lán)寶石或者硅片這種原子級潤滑外表上成長，那么DLC膜的外表也會十分潤滑，然后削減機械互鎖相應(yīng)。

四、離子能量

離子能量即是指偏壓，依據(jù)相關(guān)研討，跟著偏壓升高，DLC涂層含氫量逐漸下降，而且添加sp3含量，可有效改進DLC涂層內(nèi)應(yīng)力，增大膜基結(jié)合力，其系數(shù)遠(yuǎn)比沒有添加偏壓時低得多。

五、纖細(xì)顆粒

傳統(tǒng)陰極弧堆積辦法制備的DLC膜外表可能包括很多的納米/微米顆粒，添加外表粗糙度。經(jīng)過添加過濾設(shè)備(磁過濾器或機械過濾器)對顆粒進行過濾和阻擋，使薄膜功能得以改進。經(jīng)過直流或射頻等離子輔助化學(xué)氣相堆積、濺射和離子束堆積等辦法也可堆積十分潤滑的涂層(納米尺寸外表粗糙度)，然后削減乃至消除機械互鎖效應(yīng)對DLC膜學(xué)功能的影響。DLC涂層加工