DLC類金剛石涂層是一種應(yīng)用于工模具表面改性領(lǐng)域的技術(shù)。該技術(shù)對于工藝的要求以及工件模具的質(zhì)量要求較高，這是確保產(chǎn)品品質(zhì)的關(guān)鍵，所以就由利晟納米小編為大家介紹一下 DLC類金剛石涂層工藝流程吧！
  
金剛石涂層工藝流程
  
  1、工件基體處理
  
  這一步是比較重要的，將工件拋光到小于Ra0.2um, 涂覆處理后的工件才可得到滿意的表面質(zhì)量，這對成形一些具有光學(xué)性能要求的零件是非常重要的，類似成形光學(xué)鏡頭和成形LED零件等。操作的時候需要注意基體表面處理不能留有死角，這影響到膜層是否能與基體牢固地結(jié)合。
  
  2、充分清洗
  
  將要涂覆的工件進(jìn)行充分清洗，涂覆的母材、質(zhì)量水平和幾何形狀決定了清洗的工藝。工件裝在設(shè)定的夾具上，夾具是在使腔體裝載尺寸優(yōu)化和保證涂覆均勻的基礎(chǔ)上設(shè)計的。清洗方法為真空室抽真空至10-6托(高真空)來排除系統(tǒng)中的任何污染物，真空室中通入惰性氣體并使其離子化，導(dǎo)致產(chǎn)生輝光放電(等離子體)，這是氣體清洗階段使零件做好金屬沉淀準(zhǔn)備。
  DLC類金剛石涂層
  3、金屬沉淀
  
  在用于沉淀的固體金屬上（指靶材）加載高電流、低電壓電弧，金屬被蒸發(fā)并且瞬間離子化，屬離子在高能量的作用下通過惰性氣體或活性氣體進(jìn)入腔體并沉淀在工件上。在金屬沉淀過程中蒸發(fā)了的金屬(靶材)保持不變。在激i活的沉淀過程中，改變氣體的體積或種類將會改變膜層的性質(zhì)，形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同樣，通過改變靶材的材質(zhì)也可以產(chǎn)生不同的膜層。